Polycold深冷泵维修与保养服务 水汽捕集泵（Water Vapor Cryochiller）， 主要用于辅助抽真空以及改善真空质量, 在真空度 1 至 10-6 Pa 之间捕集真空腔内水汽和油分子, 提升产品的产能和成膜质量.。Polycold深冷泵维修与保养服务 原理在真空腔体内，水气分子是典型的环境污染气体，占腔内残余气体 65% 到 95% ，当真空度达到 10-...
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