[招标]高精度激光干涉仪测量系统招标公告

要求： （1）激光测量系统应包括激光头、三脚架、三脚架云台、线性光学镜头组件、光学镜头安装组件、USB接口组件、运输箱等基本部件。 （2）测量系统应配备与FANUC16i、18i、31i、0i，SIEMENS 840D、810D，Heidenhain iTnc530等数控系统配套的线性误差补偿软件。 （3）线性测量要求 线性测长精度：≤0.7ppm 线性测量范围：≥0~40m 最高测长分辨率：0.001μm 最高测量速度：≥40m/min （4）回转轴测量要求 测量位置：任意位置 测量精度：≤±1″ 测量分辨率：≤0.01″ 基准分度装置重复精度：≤0.2″ （5）直线度测量要求 测量距离：≥0.1-4m 测量范围：≥±2.5mm 测量分辨率：≤0.01μm 测量精度：≤±0.5%±(0.5±0.15M2 ) μm 联系人：谭春兰　13520155987

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