随着白光干涉测量技术的发展和完善，在微电子、微机械、微光学等领域，白光干涉检测仪可以提供更高精度的检测需求。
中图仪器SuperViewW1白光干涉仪属于3D测量领域检测的高精度检测仪器之一，其在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其精度要求。
产品性能
纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关
扫描帧速：50FPS/s
粗糙度重复性：0.005nm（依据ISO 25178-2012）
光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关
至大点数：1048576（标准）
台阶测量：准确度≤0.3%，重复性≤0.08%1σ
SuperViewW1白光干涉检测仪采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。
金属光滑凹面轮廓测量
金属片磨损分析
摩擦磨损形貌测量
SuperViewW1白光干涉检测仪具有测量精度高、分析功能强大、使用方便、测量参数齐全等优点，其独特的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。系统软件为简体中文操作系统，操作方便。还有双重防撞防护：
（1）软件防撞保护 ZSTOP
ZSTOP是是软件设置在Z轴上的停止位，设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离，当镜头运动到该位置时，就立刻停止不再向下运动，起到保护样品和镜头的作用。
（2）Z轴硬件防撞传感器
在镜头的上方安装有机械防撞传感器，当镜头向下位移与样品表面直接接触时，触发感应器，镜头与样品表面变为软接触，并触发紧急停止开关，不再响应向下位移的指令，避免镜头和样品的损伤，双重防护，守护设备和产品，也守护每一分价值和信任。
注意事项
1、现场开箱后，核对设备型号、配件规格与数量；确认外观无划伤或掉漆；确认各部件有无损坏或异常。
2、使用中图仪器专用玻璃标准器进行设备的校准，确认仪器符合技术协会的要求。
3、验收标准参照现行国家（或行业）标准以及本技术协议为准。
4、验收合格后，供方需和需方签订《产品验收报告》。
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