SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
【3D测量,一览无余】
采用白光干涉技术,结合具有抗噪性能的3D重建算法,真实还原样品的每一个细节,随意翻转缩放,助您轻松观察、测量样品的任意特征。
【功能强大,参数齐全】
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D测量功能全部囊括,距离、角度、直径测量等2D轮廓分析功能覆盖,有依据ISO|ASME|EUR|GBT四大国内外标准的300余种特征参数。
【操作便捷,简单明了】
直观的操作界面,操作流程一目了然,自动聚焦,一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的分析功能,有一键分析功能。
【高重复精度,稳定可靠】
采用了扫描模块和内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性。
【两种型号,量身定制】
W1系列白光干涉仪表面轮廓仪提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型,另可针对不同的测量需求,在两种型号间选取不同配置进行组合。
【广泛应用,贴心服务】
可测2D/3D轮廓、粗糙度,300余种特征参数……光学3D表面轮廓仪在半导体、精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面线粗糙度、金字塔型磁头夹角、微透镜阵列曲率半径……
SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。